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常壓電漿噴束於矽晶圓織構化之研究Study of Atmospheric ...

多晶矽矽晶片經過常壓電漿噴束之離子轟. 擊後，在表面打出蝕刻點，再經由鹼性化學蝕刻. 液(NaOH)進行非等向性蝕刻後，產生金字塔狀結. 構。 蝕刻點在實驗過程中，促使反應 ...

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