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利用矽晶片製造與整合微系統的思維與架構

量(inertia)；和(3) 提供元件整合平台：直接蝕刻矽晶片，作為整合各種生光機 ... 擇性的熱氧化保護層和硼擴散蝕刻停止層覆蓋住，以抵擋蝕刻液。最後如圖17e.

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