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BHF 蝕刻 - 軟體兄弟

BHF 蝕刻,BHF(二氧化矽蝕刻液). ... 二氧化矽層蝕刻(SiO2 Etching), 以氫氟酸及氟化銨（HF/NH4F; BOE or BHF）所形成之緩衝溶液來蝕刻二氧化矽層，化學反應式如下： ...

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