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矽基板在鹼性溶液中之蝕刻表面形貌與反應機制研究- 月旦知識庫

陳品仰,李昆達,表面形貌,非等向性蝕刻,矽,氫氧化鉀,Surface morphology ... 改變蝕刻液的濃度，矽(111)基板與矽(100)基板的特徵表面形貌會隨著濃度提高而減少，而 ...

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