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LAB6 矽基非等向性蝕刻(TMAH) - 國立高雄科技大學

使用完之TMAH 溶液使用完畢要倒掉時，請確認倒入有機液回收桶。 6.3. 蝕刻設備架設說明. 1. 超音波震盪器外型如下圖：. 2.

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