論文名稱: TMAH非等向性濕蝕刻特性之研究與應用 ... 的參數下,其數值為81μm/hr,而且,由實驗數據中得知,矽蝕刻速率在5-8 wt.%有最大值,矽-二氧化矽則在較低溫下有 ...
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