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光電化學蝕刻製作矽質微米連續壁結構

了增進蝕刻效果，分別就預蝕刻結構、氫氟酸蝕刻液濃度、酒精添加劑等參數，探討其對電 ... 矽蝕刻而成多孔矽，高於此點之電流則造成矽孔的.

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