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(19) 中華民國智慧財產局

程,藉由貴金屬合金粒子催化矽晶片基板表面之氧化及藉由蝕刻液蝕刻二氧化矽反應,造成矽晶片. 基板局部微蝕刻,以便在矽晶片基板表面形成微孔(micro-pores)結構或凹 ...

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