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1.緒論

以蝕刻矽的溶液來說，最常使用的應該就是KOH。 ... 溫度下，對於矽基材的不同方向的蝕刻速率。 ... 和SiO2 的蝕刻比非常大，因此採用TMAH 當做一次轉移的蝕刻液。

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