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矽蝕刻液
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http://www2.nkfust.edu.tw/~jcyu/Course/sme2004_etch.pdf
攪拌方式與蝕刻幾何特徵對KOH 矽蝕刻蝕刻速率及表面粗糙度 ...
且. 矽晶圓依照蝕刻液的選擇性,可產生等向性蝕刻及非. 等向性蝕刻。非等向性蝕刻常被用來作為微系統的結. 構製作,在矽晶圓(Silicon Wafer)上製作出 ...
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