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不腐蝕鋁的高速矽蝕刻液開發成功 - 人人焦點

以KOH（氫氧化鉀）、TMAH（氫氧化四甲銨）溶液爲代表。過去，因使用強鹼性溶液，在形成鋁布線後，進行矽的晶體各向異性蝕刻時，需要在蝕刻液中添加各種矽 ...

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