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浮選法回收碳化矽之研究

切削矽泥是在晶圓切割過程中所產生的廢棄物，其組成可分為切削油(DEG、. PG、PEG)及矽泥(碳化矽、矽及金屬物質)。目前處理方式大多是以掩埋或焚燒為主。 如果能回收並再 ...

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