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單晶碳化矽在微電子及微感測元件之應用

ABCACBABCACB 時，因其碳－矽雙層以六層堆. 疊為週期，除區域性立方體結構外，其亦含有區域. 圖1. 碳化矽之原子結構，(a) 碳、矽之. 四面體原子結構，(b) 常用之三型. 碳化 ...

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