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先進CMOS廠處理300 mm矽晶上石墨烯的最佳方案

圖1A顯示光學顯微鏡下的石墨烯在二氧化矽／矽晶圓上轉移和轉移後之清除。 ... 圖3B. 用以執行裝置的結構概要圖。 為了處理石墨烯轉移後的矽晶圓，我們 ...

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