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多晶型6H-SiC 晶體成長之研究The Study of 6H ... - 遠東科技大學

而圖1 顯示為不同之碳化矽晶態，如立方. 晶態、六方晶態及正交晶態之碳化矽結晶結構. [10]。 圖1 物理氣相傳輸裝置示意圖[10]. 本研究係擬以物理氣相傳輸(PVT)法製備多 ...

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