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藍寶石基底矽晶薄膜

雖然 r-晶面，(1102) 晶面藍寶石基板與單晶矽晶格結構和常數相似，但仍有5%以上的差異，屬於異質磊晶製程。這項晶格常數差異導致在此薄膜和生長基板間的介面處產生高密度的 ...

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