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TWI577840B - 多晶矽鑄錠與來自其的矽晶圓 - Google Patents

圖3C係根據一些實施例說明鑄錠V之鑄錠高度14mm的晶粒結構(左)、EBSD映射(底)以及反極圖(inverse pole diagram)(右)。 圖4係根據一些實施例說明在不同拉伸速度之不同成長 ...

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