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矽晶棒製程
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矽晶圓製造業資源化應用技術手冊
小的單晶矽晶棒,因矽晶棒是由一顆小晶粒在熔融態的矽原料中逐漸生成,此過. 程稱為「長晶」。矽晶棒再經過切割、研磨、拋光、切片等加工製程,即可成為.
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