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矽晶棒製程
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http://ilms.csu.edu.tw/sys/read_attach.php?id=2061209
前言4-1 CH04 太陽電池級矽單晶片製造技術CZ矽單晶棒之製造 ...
一般商業等級的CZ單晶矽太陽電池最高約只能達到約18%左右。 要降低矽單晶片的生產成本,必須 ... 上爐室為長完的晶棒停留冷卻的地方;下爐室則包含所有Hot Zone元件。
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