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半導體單晶矽棒材料及製程 - Your.Org

單晶矽棒化學反應式. 進行精煉製程，坩鍋中留下之. 純矽( Silicon ) 添加三氯化氫. (3HCL ) ，反應變成三氯氫化矽. ( Si HCL )，剩下的氫氣. ( Hydrogen ) 排出坩鍋。

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