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長晶爐監診 - 固德科技

晶圓wafer是半導體製造積體電路中，最重要的材料。A客戶所待廠區，長晶爐已有肉眼可辨識的抖動現象，造成生成晶棒區長晶過程生長異常，如何找出異常振動源？

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