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矽晶棒製程
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第二十三章半導體製造概論
其中,拉引及旋轉的速度愈慢,則沾附. 的矽結晶時間愈久,結晶棒的直徑愈大,反之則愈小。 右圖(摘自中德公司目錄)為中德電子材料公司製作的晶棒(. 長度達一公尺, ...
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