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05977_太陽電池技術入門

如果非晶矽在沉積的過程中，可以崁入5-10%的氫原子的話，氫原子就可與矽原子鍵結，而去除部份的懸浮鍵，如圖8.2所示 ... 氣體流量的大小，與沉積速率及基板面積有關。

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