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因此在本計畫中,我們利用矽鍺合金在高溫氧化環境中之氧化速率不同,而且鍺原子將自氧化物中釋放出來並埋藏於氧化物與矽鍺合金之介面的特性,來製造原子尺寸大小的鍺 ...
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