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Nature：晶片製造進入原子時代！ - VITO雜誌

然而時至今日，隨著矽基電晶體的尺寸進入了亞10奈米時代，矽基微電子工藝 ... 由於埃米尺度也正是單個原子半徑的經典大小，因此，晶片的下一步發展 ...

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