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鑲嵌奈米矽晶與奈米碳化矽晶之非晶富矽碳化矽PIN接面發光二 ...

從X射線繞射圖中，我們可以估計出奈米矽晶與奈米碳化矽晶的平均尺寸大小分佈分別約為4.2±0.5 ... 因此透過Si-H3自由基的去氫化可使得矽原子之間更容易聚集形成奈米矽晶。

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