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TWI740168B - 光子半導體裝置及其形成方法 - Google Patents

一種形成光子系統的方法包括：在基底之上的第一氧化物層中形成多個矽波導區段， ... 因此，封裝體可包括光學(光子)晶粒及電子晶粒二者，其中光學(光子)晶粒包括光學 ...

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