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真空技術

氣體分子碰撞在高速運轉之機件上而獲得動能，向機件運動. 的方向流動，利用此原理可將真空系統中之氣體從較低壓處. 移動到較高壓處，然後再由前段幫浦抽送至系統之外，由於.

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