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真空腔體設計 - 政府研究資訊系統GRB

本子計畫將進行波帶片陣列為基礎之極紫外光(EUV) 直寫微影系統之腔體結構與真空系統的設計與製造。此EUV 系統包含了EUV 光源、波帶片陣列、微控平台、腔體及真空系統等 ...

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