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利用ISCST3模式解析半導體封裝製程VOCs與異味污染物排放對 ...

(23.6 ppb)；再次者為丙酮、甲苯、2-丁酮、正己烷、丙烷、正十二烷、間,對二. 甲苯、甲基環己烷、氯甲苯及異戊烷，濃度介於1.3–17.4 ppb；TVOC(總VOC). 濃度為682.9 ppb。

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