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溫變式蜂巢狀沸石轉輪吸附揮發性有機排氣的特性研究

TFT-LCD 產業. 所主要排放之VOCs 物種特性如表1 所示，在基板清洗時會散逸異丙醇(lsopropyl alcohol,. IPA)及丙酮(Acetone)，光阻塗佈會散逸單甲基醚丙二醇乙酸酯( ...

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