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甲烷 俗稱
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360°科技:矽甲烷(SiH4) - 電子時報
SiH4,Silane即矽甲烷,在非晶矽薄膜領域所用到的又俗稱Mono Silane,目前多數是由多晶矽生產廠來供應,包括挪威REC其全球市佔率高達80%以上,另外...
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