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覆晶自我校準機構之設計與實現

在自我校準機構的設計之中，使用球面氣體軸承的設計，以球面對來產生兩個轉動自由度以利於平面的對準，利用氣體潤滑的方式，讓基板面移動配合晶片面來達成共平面的狀態

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