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應用於TFT-LCD之素玻璃拋光用研磨墊之性質研究

在化學機械研磨中，為了增加玻璃拋光的移除率，常在研磨墊結構中加入研磨粉， ... 第三部份為探討在固定溝槽深度及溝槽寬度下，不同開溝率的研磨墊對玻璃拋光移除率之 ...

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