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應用因子實驗設計進行TFT玻璃基板清洗製程參數設定之研究

玻璃基板品質最重要的便是表面潔淨度而目前玻璃基板洗淨製程的補液參數，主要是依據工廠裝機時工程師的初步設定，但實際上有多個影響因子在整個補液系統中須被探討。

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