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犧牲氧化層目的
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Vantage®RadOx™RTP |应用材料
先進元件微縮需要更薄及更優質的氧化層,同時須具備低漏電流、高可靠性、較低的熱 ... 氧化步驟的微縮障礙,如記憶體閘極氧化層、淺溝隔離內壁氧化層、犧牲氧化層、 ...
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「犧牲氧化層目的」
的人也找了:
閘極氧化層目的
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