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特殊氣體供應商
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高科技產業製程安全技術與管理: 本質較安全設計
以特殊氣體供應為例(例如矽甲烷),由於具有極低燃點,甚至有可能會自燃,所以整體管路設計上須考量雙重保護(即氣瓶櫃與雙套管設計),當特殊氣體不幸洩漏,還不會立即流入 ...
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