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长江存储公开“晶圆承载装置及晶圆检测设备”专利 - 电子工程专辑

专利摘要显示，本申请实施例公开了一种晶圆承载装置及晶圆检测设备，所述晶圆具有相背设置的两个待检测面，所述晶圆承载装置包括承载组件和固定组件； ...

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