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SOI晶片應用於具矽奈米線之微型熱電致冷晶片的研製

然而，傳統的熱電散熱技術面臨了不易微小化與整合化的缺點，又面臨高密度積體電路所 ... 因此，本研究期望以金屬輔助化學蝕刻之矽奈米線陣列做為熱電材料，配合半導體 ...

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