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行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告- 熱對流式微機電 ...

一、新穎熱對流元件最佳化設計研究: 本研究利用TSMC0.35μm 製程，藉由熱電堆. 的感測原理成功的設計並製造出X-Y 象限的. 新式熱型加速度計，可同時感測二維的加速度.

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