無塵 室進出管理流程. ... Std.209E)無塵室等級分類之規範 ... 等級. 微塵粒限制(顆/ m3). Class. 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5.0μm. ISO 9 -. -. 35,200,000 293,000.
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