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無塵室等級class 1
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無塵室分級
FED 採用微粒濃度為分級名稱,如Class 100、Class 10,000…等。數字越高代表濃度越高,潔淨等級越低。而ISO 則以數字作區分,如ISO 1、2、3、…
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「無塵室等級class 1」
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無塵室等級class 10000
台積電無塵室等級
無塵室等級class 100
class 100無塵室定義
iso 14644無塵室規範
無塵室落塵量測方法
iso 14644-1無塵室標準
無塵室管理規範