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無塵室等級class 1
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無塵室技術及計算流體力學之應用 - CTCI
因此新規範ISO-14644還未能完全取代Fed 209E。ISO-14644其空氣懸浮粒子的等級規定如圖2。 圖1 Fed-Std-209E 潔淨度定義.
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