無塵室 的無塵(潔淨)等級之定義標準有ISO-14644、美國聯邦209E、日本的JIS B9920、德國的VDI 2083、俄國的Gost-R 50766,一般最常用的標準是美國聯邦209E,其空氣懸浮粒子 ...
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