研究結果發現在無塵室潔淨等級ISO5(Class 100)時關閉. 率達到3.5%仍可維持無塵室中之環境要求等級,且關閉率在3.5%時FFU能源耗能耗電量可預估改善後. 一個月約可節省4560kWh ...
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