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無塵室等級
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無塵室廠房等級區分
那麼它的等級就是Class 3,如果它的無塵室最大落塵量管制為1×10^6 ,. 也就是每1立方公尺0.1μm粒徑的particle不得超過1000000顆,. 那麼 ...
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