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無塵室原理
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無塵室節能技術簡介
○ 磁浮軸承原理—利用電磁力將. 主軸懸浮(非接觸軸承). ○ 磁浮軸承優勢—靜音、低振、. 、無油、免保養. ○ 技術挑戰—高轉速、高功率、. 微間隙與感測監控 ...
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