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無塵室 - 中文百科知識
無塵室 是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一 ...
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