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無塵/潔淨室(clean room) FED & ISO 等級定義與分類標準介紹
FED-STD-209E 為美國製定的聯邦標準,是較早期的規範,已於2001年11月停用改採ISO 14644-1 標準,但因業界已普遍熟悉,多沿用至今,像常聽到的Class ...
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