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乾式蝕刻電漿– 蝕刻製程介紹 - Hoctme

蝕刻 速率通常可藉由氣體種類、流量、電漿源及偏壓功率所控制，在其他因素尚可接受 ... 漿的解離，形成離子與物質表面進行化學反應或是物理轟擊，屬於非等向性的蝕刻。

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